Bronkhorst M16210402B F-201CV-1K0-TAD-88-Z
7.10.019 F-201CV / F-211CV質量流量控制器
替換M16210402B
型號型號：F-201CV-1K0-TAD-88-X
產品系列產品系列：EL-FLOW選擇
保護等級防護等級：IP-40
材質：SS 316L
多流體多范圍：停用
介質：SiH4（硅烷）
流量范圍：10 ... 500 sccm
精度精度：滿量程的±0.5％實際值加值的±0.1％終值（基于校準期間的條件）
校準證書校準證書：3點校準
入口壓力（P1）：1.5 ... 2.5 bar（g）（已校準2 bar（g））
出口壓力（P2）：0 bar（g）
閥功能閥功能：常閉常閉
噴嘴：0.30毫米
溫度溫度：20°C
密封件：Viton 51415
柱塞：Kalrez 6375
入口連接入口連接：1/4“外螺紋真空接頭
出口連接出口連接：1/4“外螺紋真空接頭
輸出信號輸出信號：EtherCAT 0 ... 100％（0 ... 5 V）
設定值型號設定值信號：EtherCAT 0 ... 100％（0 ... 5 V）
電壓電源：+15 ... 24 Vdc
Bronkhorst流量計常用型號：
F-201AV-50K-ABD-00-V
F-201AV-50K-AGD-33-E
F-201EV-PAD-88-X
F-201CV-500-PAD-88-E
F-201CV-10K-PAD-88-V
F-201CV-2K0-PAD-88-V
F-201CV-5K0-PAD-88-V
F-201AV-50K-PAD-88-V
F-201AV-70K-PAD-88-V
F-201AV-50K-PAD-88-V
F-201CV-20K-PAD-88-V
M14-PAD-B2-0-S
M13-PAD-82-0-S
F-201DV-PAD-88-E
2.04.110
C2I-IIU-2B-K
2.04.110
C2I-IIU-28-K
7.20.038
5.02.004
5.02.006
M14-PAD-88-0-S
M13-PAD-88-0-S
